氟化锂晶体生长炉回收
一·氟化锂晶体生长炉长晶炉氟化物长晶设备用途:主要用于LED行业的宝石类晶体制备,蓝宝石晶体,氟化物晶体等
采用分体模块化设计,采用钟罩升降结构,炉盖炉体可单独升降打开,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,布局整洁大方。
二··氟化锂晶体生长炉长晶炉氟化物长晶设备主要技术参数
1.设计加热温度: 1200℃
2.功率:40Kw±10%单相整流
2.冷态极限真空度: ≤5×10E-3Pa
3.压升率: ≤2Pa/h
4.炉体尺寸: Ф750×1000mm(直径×高)
5.测温系统: 热电偶
6.控温精度: ±0.1℃,采用欧陆温控仪表
7.加热区: 一区
8.坩埚升降参数: 位移行程 200mm
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min(伺服控制)
9·炉内充气压力: ≤0.05MPa
10·充放气系统: 两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)