· 单晶炉的构成编辑

· 提拉头：主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成

·  副室：主要是副室筒以及上下法兰组成

·  炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗抽真空管道组成

·  炉筒：包括取光孔

·  下炉筒：包括抽真空管道

·  底座机架：全铸铁机架和底座

·  坩埚下传动装置：主要由磁流体电机坩埚支撑轴减速机软波纹管立柱上下传动支撑架导轨等部件组成

·  分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管水管卡套等

·  氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管不锈钢管3个压力探测器高密封性卡套等部件

·  真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵水环真空泵过滤器真空管道硬波纹管等

·  电源以及电控柜：电源柜滤波柜控制柜以及连接线

· 单晶炉的定义编辑

· 单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

· 1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长、几寸的硅棒3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度） 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等。

· 单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的

· 一、晶体直径（尺寸）

· 二、温度（功率控制）

· 三、原料（硅料）

· 四、泄漏率，氩气质量等

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· （1）在**阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整。

· （2）在第二阶段,利用数值模拟是用来确定**的晶体生长工艺参数。